[发明专利]电化学处理器

摘要

电化学处理器可包括具有转子的头部，头部构造成支承工件，头部可移动而将转子定位于容器中。内部与外部阳极位于容器内的内部与外部阳极电解质腔室中。容器中的上杯具有弯曲上表面和内部与外部阴极电解质腔室。电流取样器设置成邻接该弯曲上表面。该弯曲上表面中的环状狭槽连接至通道（例如管子）而通往外部阴极电解质腔室。薄膜可分别将内部与外部阳极电解质腔室和内部与外部阴极电解质腔室隔开。

主权项

一种处理器，包含：容器；头部，所述头部构造成支承工件，所述头部可移动以将所述工件定位于所述容器中；内部阳极，所述内部阳极联结所述容器内的内部阳极电解质腔室；外部阳极，所述外部阳极围绕所述内部阳极，所述外部阳极联结外部阳极电解质腔室；上杯，所述上杯位于所述容器中，所述上杯具有弯曲上表面、位于所述外部阳极电解质腔室上方的外部阴极电解质腔室和位于所述内部阳极电解质腔室上方的内部阴极电解质腔室；电流取样器，所述电流取样器邻接所述上杯的所述弯曲上表面；呈图案状的多个开口，所述多个开口位于所述上杯的所述弯曲上表面中；以及通道，所述通道将各开口实质连接到所述外部阴极电解质腔室。