[发明专利]微型高灵敏压力传感器有效
| 申请号： | 201280022543.2 | 申请日： | 2012-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN103534568A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 克劳德·贝尔维尔;塞巴斯蒂安·拉兰切特;尼古拉斯·莱萨德 | 申请（专利权）人： | 奥普森斯公司 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08;A61B5/027;A61B5/0215 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 何文彬 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 加拿大;CA |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种微型光纤压力传感器设计，其中围绕特定偏压压力的灵敏度被优化。在一实施例中，该压力传感器是法布里－珀罗(FP)传感器，其包括基板；以及安装在该基板上的膜片。该膜片具有中心并包括：包括第一材料的第一层；以及包括第二材料的第二层。该第二层形成圆点或环。该圆点或环安装在该第一层上并以该膜片的中心定中心。该第二材料包括内部预应力，以致使膜片的中心（在圆点的情况下）或者围绕膜片中心的周边区域（在环的情况下）在放松内部预应力时从基片拱起。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 灵敏 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种法布里－珀罗传感器，包括：－基片；以及－安装在所述基片上的膜片，所述膜片具有中心且包括：－包括第一材料的第一层；以及－包括第二材料的第二层，所述第二层形成圆点，所述圆点安装在所述第一层上并以所述膜片的中心定中心，所述第二材料包括内部预应力以致使在放松所述内部预应力时，所述膜片的中心从所述基片拱起。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于奥普森斯公司，未经奥普森斯公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280022543.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：X型伸缩晾晒架
- 下一篇：测定硝酸盐浓度的方法
