[发明专利]带有流量监测器的压力式流量控制装置、使用该装置的流体供给系统的异常检测方法及监测流量异常时的处置方法有效
| 申请号： | 201280022337.1 | 申请日： | 2012-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN103502902A | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | 平田薰;土肥亮介;西野功二;池田信一;杉田胜幸 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 肖日松;李婷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种带有流量监测器的压力式流量控制装置，由下列部件构成：流体的入口侧通路(8)；控制阀(3)，与入口侧通路(8)的下游侧连接并构成压力式流量控制部(1a)；热式流量传感器(2)，与控制阀(3)的下游侧连接；节流口(6)，介入设置在与热式流量传感器(2)的下游侧连通的流体通路(10)；温度传感器(4)，设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10)的附近；压力传感器(5)，设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10)；出口侧通路(9)，与节流口(6)连通；以及控制部(7)，由压力式流量运算控制部(7a)及流量传感控制部(7b)构成，该压力式流量运算控制部(7a)被输入来自压力传感器(5)的压力信号及来自温度传感器(4)的温度信号，对流通于节流口(6)的流体的流量值Q进行运算，并且，向阀驱动部(3a)输出使控制阀(3)沿所运算的流量值与设定流量值的差减少的方向进行开闭动作的控制信号Pd，该流量传感控制部(7b)被输入来自热式流量传感器(2)的流量信号(2c)并根据该流量信号(2c)而将流通于节流口(6)的流体流量运算显示。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 流量 监测器 压力 控制 装置 使用 流体 供给 系统 异常 检测 方法 监测 处置 | ||
【主权项】：
一种带有流量监测器的压力式流量控制装置，其特征在于，由下列部件构成：流体的入口侧通路；控制阀，其与入口侧通路的下游侧连接并构成压力式流量控制部；热式流量传感器，其与控制阀的下游侧连接；节流口，其介入设置在与热式流量传感器的下游侧连通的流体通路；温度传感器，其设在所述控制阀与节流口之间的流体通路的附近；压力传感器，其设在所述控制阀与节流口之间的流体通路；出口侧通路，其与所述节流口连通；以及控制部，其由压力式流量运算控制部及流量传感控制部构成，该压力式流量运算控制部被输入来自所述压力传感器的压力信号及来自温度传感器的温度信号，对流通于节流口的流体的流量值Q进行运算，并且，向阀驱动部输出使所述控制阀沿所运算的流量值与设定流量值的差减少的方向进行开闭动作的控制信号Pd，该流量传感控制部被输入来自所述热式流量传感器的流量信号并根据该流量信号而将流通于节流口的流体流量运算显示。
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