[发明专利]用于磁屏蔽的系统无效
| 申请号： | 201280018758.7 | 申请日： | 2012-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN103477285A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | A.罗森塔尔 | 申请（专利权）人： | 迈普尔平版印刷IP有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 李国华 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及用于磁屏蔽带电粒子光刻设备的系统（100）。该系统包括第一腔室、第二腔室（102）、和一组两个线圈（102a；102b）。该第一腔室具有多个壁，且至少部分地包围该带电粒子光刻设备，其中这些壁包括磁屏蔽材料。该第二腔室也具有包括磁屏蔽材料的壁，且包围该第一腔室。该组两个线圈被置放在第二腔室中，而位于第一腔室的相对侧上。该组两个线圈具有公共轴线。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 屏蔽 系统 | ||
【主权项】：
一种用于磁屏蔽带电粒子光刻设备的系统，该系统包括：第一腔室，具有包括磁屏蔽材料的壁，该第一腔室至少部分地包围所述带电粒子光刻设备；第二腔室，具有包括磁屏蔽材料的壁，该第二腔室包围所述第一腔室；以及一组两个线圈，被设置在所述第二腔室中并位于所述第一腔室的相对侧上，所述两个线圈具有公共轴线。
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