[发明专利]基于等离子体的表面增强方法无效
| 申请号： | 201280017428.6 | 申请日： | 2012-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN103460329A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 科马克·帕特里克·伯恩;布赖恩·约瑟夫·梅南;赖谢勒·安德烈亚·德萨 | 申请（专利权）人： | 创新阿尔斯特有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 康建峰;杨华 |
| 地址： | 英国北*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 公开了一种使用等离子体修改衬底的方法。该方法包括：提供第一电极4和第二电极6；布置衬底，使得衬底的仅一部分在电极4、6之间；以及使衬底或者电极4、6中的至少一个电极绕轴旋转，以引起所述衬底的不同部分在旋转期间经过电极4、6之间。向电极4、6中的至少一个电极供应电压以在电极4、6之间产生与衬底的经过电极4、6之间的至少所述部分接触的等离子体放电。电极4、6和衬底被布置成使得该旋转引起衬底部分经过电极4、6之间的速度在远离旋转轴的径向方向上变化并且使得等离子体放电修改衬底的速率跨衬底而变化。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 等离子体 表面 增强 方法 | ||
【主权项】：
一种使用等离子体修改衬底的方法，包括：提供第一电极和第二电极；布置所述衬底，使得所述衬底的仅一部分在所述第一电极和所述第二电极之间；使所述衬底或者所述第一电极和所述第二电极中的至少一个电极绕轴旋转，以引起所述衬底的不同部分在所述旋转期间经过所述第一电极和所述第二电极之间；以及向所述第一电极和所述第二电极中的至少一个电极供应电压，以在所述第一电极和所述第二电极之间产生与所述衬底的经过所述第一电极和所述第二电极之间的至少所述部分接触的等离子体放电；其中，所述第一电极和所述第二电极以及所述衬底被布置成使得所述旋转引起所述衬底部分经过所述第一电极和所述第二电极之间的速度在远离所述旋转轴的径向方向上变化；并且其中，所述第一电极和所述第二电极被这样布置并且所述旋转这样发生：使得所述衬底的距所述旋转轴较远并且经过所述第一电极和所述第二电极之间的区域通过所述等离子体放电、以与所述衬底的距所述旋转轴较近并且经过所述第一电极和所述第二电极之间的区域相比较低的速率来被修改。
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