[发明专利]模具的制造方法

摘要

本发明的实施方式的蛾眼用模具（100）的制造方法使用模具基材（10），上述模具基材（10）具有金属基材（72m）、形成于金属基材（72m）上的有机绝缘层（13）以及形成于有机绝缘层（13）上的铝合金层（18），铝合金层（18）含铝和铝以外的金属元素（M），金属元素（M）的标准电极电位和铝的标准电极电位之差的绝对值为0.64V以下，铝合金层（18）中的金属元素M的含有率不超过10质量％。

主权项

一种模具的制造方法，上述模具在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向观看时的二维大小为10nm以上且不足500nm的多个凹部，上述模具的制造方法包含如下工序：工序（a），准备模具基材，上述模具基材具有金属基材、形成于上述金属基材上的有机绝缘层以及形成于上述有机绝缘层上的铝合金层，上述铝合金层含铝和铝以外的金属元素M，上述金属元素M的标准电极电位与铝的标准电极电位之差的绝对值为0.64V以下，上述铝合金层中的上述金属元素M的含有率不超过10质量％；工序（b），对上述铝合金层部分地进行阳极氧化，由此形成具有多个微细的凹部的多孔氧化铝层；工序（c），在上述工序（b）后使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，由此使上述多孔氧化铝层的上述多个微细的凹部扩大；以及工序（d），在上述工序（c）后进一步进行阳极氧化，由此使上述多个微细的凹部生长。