[发明专利]模具的制造方法

权利要求书

1.一种模具的制造方法，上述模具在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向观看时的二维大小为10nm以上且不足500nm的多个凹部，

上述模具的制造方法包含如下工序：

工序（a），准备模具基材，上述模具基材具有金属基材、形成于上述金属基材上的有机绝缘层以及形成于上述有机绝缘层上的铝合金层，上述铝合金层含铝和铝以外的金属元素M，上述金属元素M的标准电极电位与铝的标准电极电位之差的绝对值为0.64V以下，上述铝合金层中的上述金属元素M的含有率不超过10质量％；

工序（b），对上述铝合金层部分地进行阳极氧化，由此形成具有多个微细的凹部的多孔氧化铝层；

工序（c），在上述工序（b）后使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，由此使上述多孔氧化铝层的上述多个微细的凹部扩大；以及

工序（d），在上述工序（c）后进一步进行阳极氧化，由此使上述多个微细的凹部生长。

2.根据权利要求1所述的模具的制造方法，上述金属元素M是比铝贵的金属元素。

3.根据权利要求1所述的模具的制造方法，上述金属元素M是比铝贱的金属元素。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的模具的制造方法，上述模具基材在上述有机绝缘层与上述铝合金层之间还具有无机基底层。

5.根据权利要求4所述的模具的制造方法，上述模具基材在上述无机基底层与上述铝合金层之间还具有缓冲层，上述缓冲层含铝、上述金属元素M以及氧或者氮。

6.根据权利要求5所述的模具的制造方法，上述缓冲层中的铝和上述金属元素M的含有率具有在上述铝合金层侧比上述无机基底层侧高的分布。

7.根据权利要求4至6中的任一项所述的模具的制造方法，上述无机基底层是氧化硅层或者氧化钛层。

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的模具的制造方法，上述有机绝缘层是电镀层。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的模具的制造方法，上述金属基材为圆筒状，上述有机绝缘层形成于上述金属基材的圆筒的外周面。

10.根据权利要求1至9中的任一项所述的模具的制造方法，在上述工序（d）后还进行上述工序（b）和上述工序（c）。