[发明专利]制造石墨烯膜的方法、用于制造石墨烯膜的设备和通过使用用于制造石墨烯膜的设备制成的石墨烯膜无效
| 申请号： | 201280016322.4 | 申请日： | 2012-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN103459315A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 宋荣日 | 申请（专利权）人： | 三星泰科威株式会社 |
| 主分类号： | C01B31/02 | 分类号： | C01B31/02;C23C18/31;C23C18/18;C23C18/22;B01J19/18 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 王占杰;戴嵩玮 |
| 地址： | 韩国庆尚*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种制造石墨烯膜的方法，所述方法包括：在催化剂金属膜的表面上形成石墨烯；在石墨烯的上面没有形成催化剂金属膜的表面上形成第一膜；去除催化剂金属膜；以及对石墨烯执行掺杂过程，其中，通过使用辊对辊方法在一个方向上执行形成石墨烯、形成第一膜、去除催化剂金属膜、执行掺杂过程的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 石墨 方法 用于 设备 通过 使用 制成 | ||
【主权项】：
一种制造石墨烯膜的方法，所述方法包括：在催化剂金属膜的表面上形成石墨烯；在石墨烯的上面没有形成催化剂金属膜的表面上形成第一膜；去除催化剂金属膜；以及对石墨烯执行掺杂过程，其中，通过使用辊对辊方法在一个方向上执行形成石墨烯、形成第一膜、去除催化剂金属膜和执行掺杂过程的步骤。
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