[发明专利]具有同心或大致同心多边形槽图案的抛光垫有效
| 申请号： | 201280013062.5 | 申请日： | 2012-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN103429389A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | W·C·阿里森;D·斯科特;A·W·辛普森 | 申请（专利权）人： | 内克斯普拉纳公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 殷玲;吴鹏 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 描述了具有同心或大致同心的多边形槽图案的抛光垫。还描述了制造具有同心或大致同心的多边形槽图案的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 同心 大致 多边形 图案 抛光 | ||
【主权项】：
一种用于抛光衬底的抛光垫，所述抛光垫包括：具有抛光表面和背面的抛光主体，所述抛光表面具有包括同心或大致同心的多边形的槽图案，所述槽图案不具有从最内部多边形到最外部多边形的连续的径向槽。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于内克斯普拉纳公司，未经内克斯普拉纳公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280013062.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种提高电子警察抓拍系统抓拍图像质量的装置
- 下一篇：一种摄像机
