[发明专利]用于抗反射涂层的聚硅烷硅氧烷树脂无效
| 申请号： | 201280012557.6 | 申请日： | 2012-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN103517956A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 萧冰·周;埃里克·S·莫耶 | 申请（专利权）人： | 道康宁公司 |
| 主分类号： | C09D183/04 | 分类号： | C09D183/04;C08G77/48 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 高瑜;郑霞 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了聚硅烷硅氧烷共聚物或树脂及其制备方法。本发明还提供了将所述聚硅烷硅氧烷共聚物施加到基材上形成用于光刻法(193nm)的聚硅烷硅氧烷膜的方法。所述聚硅烷硅氧烷膜符合用于抗反射涂层(ARC)应用所期望或需要的所述基本性能标准。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 反射 涂层 硅烷 硅氧烷 树脂 | ||
【主权项】：
一种用于形成抗反射涂层的聚硅烷硅氧烷共聚物树脂，所述聚硅烷硅氧烷共聚物树脂包含：通过RSiOa(OH)b(OR’)c单元定义的第一组分，其中下标a、b和c为大于或等于0的数，使得(2a+b+c)=3；其中R为有机吸光基团并且R’为烷基；和通过Si5Ox(OH)y(OR’’)z单元定义的第二组分，其中下标x、y和z为大于或等于0的数，使得(2x+y+z)=12；其中R”为烷基。
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C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D183-00 基于由只在主链中形成含硅的、有或没有硫、氮、氧或碳键反应得到的高分子化合物的涂料组合物；基于此种聚合物衍生物的涂料组合物
C09D183-02 .聚硅酸酯
C09D183-04 .聚硅氧烷
C09D183-10 .含有聚硅氧烷链区的嵌段或接枝共聚物
C09D183-14 .其中至少两个，但不是所有的硅原子与氧以外的原子连接
C09D183-16 .其中所有的硅原子与氧以外的原子连接
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D183-00 基于由只在主链中形成含硅的、有或没有硫、氮、氧或碳键反应得到的高分子化合物的涂料组合物；基于此种聚合物衍生物的涂料组合物
C09D183-02 .聚硅酸酯
C09D183-04 .聚硅氧烷
C09D183-10 .含有聚硅氧烷链区的嵌段或接枝共聚物
C09D183-14 .其中至少两个，但不是所有的硅原子与氧以外的原子连接
C09D183-16 .其中所有的硅原子与氧以外的原子连接
