[发明专利]复合喷嘴及具备该复合喷嘴的基板处理装置

摘要

本发明提供利用扫描能够高效率地对较宽面积的基板进行处理的喷嘴及基板处理装置。复合喷嘴（1）具备复合加速喷嘴部（10），该复合加速喷嘴部（10）具备多个加速喷嘴（100），该加速喷嘴并列地配置，加速喷嘴（100）具有第一气体导入孔（101）、设于比所述第一气体导入孔（101）靠下游的位置的第一液体导入孔（103）、对从该第一气体导入孔（103）供给的气体及从该第一液体导入孔（103）供给的液体进行加速的加速流路（105）以及喷射加速后的混相流体的喷出口（107）。

主权项

一种复合喷嘴，该复合喷嘴具备复合加速喷嘴部，该复合加速喷嘴部具备多个加速喷嘴，该加速喷嘴并列地配置，该加速喷嘴具有：第一气体导入孔、设于比所述第一气体导入孔靠下游的位置的第一液体导入孔、对从该第一气体导入孔供给的气体及从该第一液体导入孔供给的液体进行加速的加速流路以及喷射加速后的混相流体的喷出口。