[发明专利]用于沉积锡和锡合金的自催化镀液组合物有效
申请号: | 201280006717.6 | 申请日: | 2012-01-11 |
公开(公告)号: | CN103339287A | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 阿恩德·基利安;延斯·韦格里希特;伊莎贝尔-罗达·希施科恩 | 申请(专利权)人: | 埃托特克德国有限公司 |
主分类号: | C23C18/31 | 分类号: | C23C18/31;C23C18/52 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 郭国清;穆德骏 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种自催化镀锡液,所述镀锡液含有Sn2+离子、作为还原剂的Ti3+离子、有机络合剂、以及作为稳定剂的菲咯啉或其衍生物。所述镀液适于印刷电路板、IC基底的制造和半导体晶片的金属化。 | ||
搜索关键词: | 用于 沉积 合金 催化 组合 | ||
【主权项】:
1.一种含水自催化镀锡液组合物,其包含水溶性Sn2+离子源、水溶性Ti3+离子源、至少一种有机络合剂以及稳定化添加剂,所述稳定化添加剂选自根据式(1)、式(2)的化合物和其混合物
式(1)
式(2)其中根据式(1)的R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7和R8以及根据式(2)的R9、R10、R11和R12独立地选自氢、卤素、硝基、甲基、乙基、1-丙基、2-丙基、苯基、羟基、磺酸酯基、苯基磺酸酯基、氨基、酰胺基、羧酸酯基,且R13选自氢和磺酸酯基。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
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