[发明专利]超声波清洗方法和装置有效

专利信息
申请号: 201280005491.8 申请日: 2012-01-17
公开(公告)号: CN103313804A 公开(公告)日: 2013-09-18
发明(设计)人: 江田幸雄;伊林敏成;栗村启之 申请(专利权)人: 电气化学工业株式会社
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/12
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 苗堃;陈剑华
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种即便粘接剂成分附着在硬质基板上时也能够可靠地清洗除去的超声波清洗方法。该超声波清洗方法依次进行下述(1)~(5)的工序。(1)使表面附着有粘接剂的硬质基板浸渍于25~60℃的芳香族醇系清洗液的工序;(2)一边保持通过工序(1)浸渍硬质基板的状态,一边利用超声波的振荡清洗硬质基板上的粘接剂的工序;(3)接着,使硬质基板浸渍于25~60℃的二醇醚系清洗液的工序;(4)一边保持通过工序(3)浸渍硬质基板的状态,一边利用超声波的振荡洗去附着在硬质基板上的上述芳香族醇系清洗液的工序;(5)接着,用水洗掉附着在硬质基板上的上述二醇醚系清洗液和芳香族醇系清洗液的工序。
搜索关键词: 超声波 清洗 方法 装置
【主权项】:
一种超声波清洗方法,依次进行下述(1)~(5)的工序:(1)使表面附着有粘接剂的硬质基板浸渍于25~60℃的芳香族醇系清洗液的工序;(2)一边保持通过工序(1)浸渍硬质基板的状态,一边利用超声波的振荡清洗硬质基板上的粘接剂的工序;(3)接着,使硬质基板浸渍于25~60℃的二醇醚系清洗液的工序;(4)一边保持通过工序(3)浸渍硬质基板的状态,一边利用超声波的振荡洗去附着在硬质基板上的所述芳香族醇系清洗液的工序;(5)接着,用水洗掉附着在硬质基板上的所述二醇醚系清洗液和芳香族醇系清洗液的工序。
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