[发明专利]超声波清洗方法和装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于对表面附着有粘接剂的硬质基板进行超声波清洗的方法和装置。本发明特别涉及在将使用粘接剂层叠得到的硬质基板层叠体剥离后，用于对残留在硬质基板上的固化或未固化的粘接剂进行超声波清洗的方法和装置。

背景技术

在对玻璃等透光性硬质基板进行形状加工时，会不断对单片状态的玻璃进行切断、研磨等。但是，由于临时固定用粘接剂的出现，开始实施使用粘接剂将玻璃层叠成多层并一起加工的方法，所述临时固定用粘接剂在粘接后通过浸渍于温水中能够发生剥离。

但是，在进行层叠粘接时，空气混入粘接剂层的情况下，粘接剂固化时照射的UV光使混入空气中的氧分解裂解而产生氧自由基。该氧自由基阻碍粘接剂的固化反应，该部分未固化。

另一方面，玻璃层叠时，通过在玻璃上涂布临时固定用紫外线固化型丙烯酸粘接剂、贴合玻璃、照射UV光来进行粘接、层叠。在玻璃表面上施以UV光难以透过的印刷图案、镀覆图案等时，该部分及邻接的粘接剂的聚合度比其它部分低，成为未固化状态。

通常，未固化部分与固化部分相比，粘接剂对玻璃的附着性高，在后续将玻璃层叠体与粘接剂剥离而单片化的工序中，粘接剂成分容易残留在玻璃上。

另外，即便是固化状态，根据固化时赋予的UV光的辐照度不同，在将层叠玻璃与粘接剂剥离的工序中，有时粘接剂成分残留在玻璃上。

为了提高清洗性，提出了对清洗槽中储存的清洗液以2种不同频率同时振荡的方法（专利文献1）。作为清洗液，记载有以烃系溶剂（hydrochloro＝HC、hydrochlorofluorocarbon＝HCFC）为主成分的清洗液、以有机系溶剂（perfluorocarbon＝PFC、hydrofluorocarbon＝HFC）为主成分的清洗液。

提出了利用液体试剂进行浸渍清洗之后，通过在水中照射超声波进行清洗的方法（专利文献2）。另外，记载了通过加热使附着在基板表面的液体试剂飞散。作为液体试剂，记载了酸或者硫酸与过氧化氢水的混合液（POS）。

为了提高清洗效果，提出了双重配置清洗槽以抑制超声波的传播不均的方法（专利文献3）。作为清洗液，记载了可以为水，也可以为在酸或碱性溶液中添加表面活性剂而成的清洗液。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平8-141527号公报

专利文献2：日本特开平5-259144号公报

专利文献3：日本特开2008-243342号公报

发明内容

专利文献1是使用以烃系溶剂（hydrochloro＝HC、hydrochlorofluorocarbon＝HCFC）为主成分的清洗液或以有机系溶剂（perfluorocarbon＝PFC、hydrofluorocarbon＝HFC）为主成分的清洗液、以2种不同频率同时振荡的方法，但该方法中，由于使用具有卤元素的溶剂，所以从除去性、环境保护的观点来看，在除去残留在玻璃上的粘接剂方面尚有改善的余地。

专利文献2是使用液体试剂进行浸渍清洗之后利用超声波进行清洗的方法，并非在使用液体试剂浸渍清洗时进行超声波清洗，不能说对呈玻璃状残留的粘接剂的除去性充分。另外，使用的清洗液也尚有改善的余地。

专利文献3是双重配置槽以抑制超声波不均的方法。印刷图案下的临时固定用粘接剂为聚合度低而具有粘着性的状态。专利文献3中使用临时固定用粘接剂时，由于具有粘着性，所以有时因超声波本身的衰减而导致清洗效果降低。专利文献3中，来自与超声波的行进方向不同的方向的流动有时成为槽内的超声波受振偏差的原因，成为清洗不均的原因。另外，使用的清洗液也尚有改善的余地。

这样，专利文献1～3所记载的清洗方法中，对于除去残留在玻璃上的粘接剂成分这样的目的而言尚有改善的余地。

因此，本发明的课题在于提供一种对于附着在玻璃等硬质基板上的粘接剂可稳定地得到高的清洗效果的方法。优选本发明的课题在于还提供一种在减少环境负荷的同时对于附着在玻璃等硬质基板上的粘接剂可稳定地得到高的清洗效果的方法。

本发明人等为了解决上述课题进行了深入研究，结果发现芳香族醇系的清洗液对除去附着在硬质基板上的粘接剂是有效的。然而，芳香族醇系清洗液的BOD和COD分别高至1400000mg/kg、370000mg/kg左右，存在稀释废水困难这样的问题。另外，从硬质基板上洗去芳香族醇系清洗液时使用的冲洗水（喷淋水等）的量也多至洗剂量的1000～1500倍，冲洗水的回收困难。