[发明专利]光学式膜厚测量装置及采用光学式膜厚测量装置的薄膜形成装置

摘要

提供一种光学式膜厚测量装置及采用光学式膜厚测量装置的薄膜形成装置，不用监视器基板就能够实时且高精度地直接测定产品的膜厚。光学式膜厚测量装置具备：投射部；受光部；基体保持单元内的将测定光向基体反射的多个内部分束器；对来自多个内部分束器中的最靠近的内部分束器的测定光进行全反射的内部光反射部件；将来自多个内部分束器的测定光向受光部反射的多个外部分束器；以及将来自光反射部件的测定光向受光部反射的外部光反射部件。被内部分束器及内部光反射部件反射的测定光在透过基体之后，被外部分束器及外部光反射部件反射并导向受光部，从而接收测定光。

主权项

一种光学式膜厚测量装置，该光学式膜厚测量装置是具有旋转型的基体保持单元的光学薄膜形成装置的光学式膜厚测量装置，其特征在于，所述光学式膜厚测量装置具备：投射部，其从所述旋转型的基体保持单元的旋转轴线的一方侧朝向所述基体保持单元的内部投射测定光；受光部，其接收来自该投射部的测定光；多个内部分束器，所述多个内部分束器被设置在所述基体保持单元的内部，并且将从所述投射部投射出的所述测定光向基体反射；内部光反射部件，其被设置在所述基体保持单元的内部，并且对来自所述多个内部分束器中的最靠近的内部分束器的测定光进行全反射；多个外部分束器，所述多个外部分束器被设置在所述基体保持单元的外侧，并且将来自所述多个内部分束器的测定光朝向所述受光部反射；以及外部光反射部件，其被设置在所述基体保持单元的外侧，并且将来自所述光反射部件的测定光朝向所述受光部反射，被所述多个内部分束器及所述内部光反射部件反射的测定光在透过所述基体之后，被所述多个外部分束器及所述外部光反射部件反射并导向所述受光部，从而对测定光进行接收。