[发明专利]光学波长分光装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201280001300.0 | 申请日： | 2012-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN103459995A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 柯正浩 | 申请（专利权）人： | 柯正浩 |
| 主分类号： | G01J3/18 | 分类号： | G01J3/18;G02B6/13 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人： | 胡坚 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种光学波长分光装置（10）包括一第一基板（11）；一输入单元（12），形成于该第一基板（11）上，并具有一狭缝（121）以接收一光学讯号；一光栅（13），形成于该第一基板（11）上，用于从该光学讯号产生一第一光束用于输出；以及一第二基板（15），覆盖在该输入单元（12）和该光栅（13）的顶部上。其中，该输入单元（12）以及该光栅（13）系利用高能量光源曝光从一光阻层形成。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 波长 分光 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光学波长分光装置，包含：一第一基板；一输入单元，系形成于该第一基板上，并具有一狭缝，以接收一光学讯号；一光栅，系形成于该第一基板上，可根据该光学讯号产生输出之一第一光束；以及一第二基板，系覆盖于该输入单元与该光栅上；其中，该输入单元以及该光栅系利用一高能量光源对一光阻层进行曝光所形成，且该高能量光源的波长范围介于系0.01奈米至100奈米之间。
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