[实用新型]一种可降低误差的传感器有效
申请号: | 201220740900.6 | 申请日: | 2012-12-26 |
公开(公告)号: | CN202974545U | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 李维平;刘清惓;黄标;周晓;佘德群 | 申请(专利权)人: | 南京高华科技有限公司 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210049 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种可降低误差的传感器,传感器结构包括:第一基板、第二基板、第三基板、加热电阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔。该传感器的优点:第二基板的膜片可以维持在机械迟滞曲线的卸载线上,能够避免膜片位置的不确定性问题,遏制机械迟滞偏移造成的误差,改善压力传感器的测量精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 降低 误差 传感器 | ||
【主权项】:
一种可降低误差的传感器,其特征是结构由第一基板、第二基板、第三基板、加热电阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔组成。
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