[实用新型]一种可降低误差的传感器有效
| 申请号： | 201220740900.6 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN202974545U | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 李维平;刘清惓;黄标;周晓;佘德群 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210049 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 降低 误差 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种可降低误差的传感器，其特征是结构由第一基板、第二基板、第三基板、加热电阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔组成。
2.如权利要求1所述的可降低误差的传感器，其特征在于第一基板和第二基板连接，第二基板和第三基板连接。
3.如权利要求1所述的可降低误差的传感器，其特征在于加热电阻和通孔位于第一基板的膜片上，加热电阻位于通孔两端。
4.如权利要求1所述的可降低误差的传感器，其特征在于第一基板与第二基板连接形成第一基板的空腔，该空腔通过通孔与外界空气相连。
5.如权利要求1所述的可降低误差的传感器，其特征在于第二基板和第三基板连接形成第二基板的空腔，该空腔为密闭的真空腔。
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