[实用新型]一种适用于圆排机的抽真空机组有效
申请号: | 201220703522.4 | 申请日: | 2012-12-19 |
公开(公告)号: | CN202991495U | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
发明(设计)人: | 孙国方;任玉柱;李玉生 | 申请(专利权)人: | 连云港市盛昌照明电器有限公司 |
主分类号: | F04C25/02 | 分类号: | F04C25/02 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 刘喜莲 |
地址: | 222300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型是一种适用于圆排机的抽真空机组,该机组由串联的第一级罗茨真空泵、第二级罗茨真空泵及扩散泵组组成,所述的扩散泵组由并联的3个扩散泵构成,在第一级罗茨真空泵上设有抽气管,在每个扩散泵上设有出气口。本实用新型适用于圆排机的抽真空机组可以克服现有的圆排机的真空系统的抽真空度低和耐压力不足,其设计简单合理,可大大提高抽速。将带有本实用新型的圆排机用于卤素灯的生产,可以大大提高泡壳内的真空度,满足生产高亮度光学投影层析用高内压节能卤素灯真空度≤0.0005pa要求,使泡内无杂质气体,光通量提高。 | ||
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【主权项】:
一种适用于圆排机的抽真空机组,其特征在于,该机组由串联的第一级罗茨真空泵、第二级罗茨真空泵及扩散泵组组成,所述的扩散泵组由并联的3个扩散泵构成,在第一级罗茨真空泵上设有抽气管,在每个扩散泵上设有出气口。
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