[实用新型]一种适用于圆排机的抽真空机组

说明书

技术领域

 本实用新型涉及一种抽真空装置，特别是一种适用于圆排机的抽真空机组。

背景技术

现有技术中的圆排机均由传动系统、真空系统、通电分解系统、加热系统、冷却系统以及机架等组成。其抽真空系统由一级罗茨真空泵和一个扩散泵构成。这种抽真空系统的极限真空度不高。使用这种抽真空系统进行光学投影用卤素灯的抽真空操作，会使灯内部残留杂质气体，使透光率下降，亮度不高，且寿命不长，达不到作为光学投影层析电源的要求。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种结构设计简单合理、可大大提高极限真空度的适用于圆排机的抽真空机组。

本实用新型所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的。本实用新型是一种适用于圆排机的抽真空机组，其特点是，该机组由串联的第一级罗茨真空泵、第二级罗茨真空泵及扩散泵组组成，所述的扩散泵组由并联的3个扩散泵构成，在第一级罗茨真空泵上设有抽气管，在每个扩散泵上设有出气口。

与现有技术相比，本实用新型适用于圆排机的抽真空机组可以克服现有的圆排机的真空系统的抽真空度低和耐压力不足，其设计简单合理，可大大提高抽速。将带有本实用新型的圆排机用于卤素灯的生产，可以大大提高泡壳内的真空度，满足生产高亮度光学投影层析用高内压节能卤素灯真空度≤0.0005pa要求，使泡内无杂质气体，光通量提高。

附图说明

图1为本实用新型的一种结构示意图。

具体实施方式

以下参照附图，进一步描述本实用新型的具体技术方案，以便于本领域的技术人员进一步地理解本发明，而不构成对其权利的限制。

实施例1，参照图1，一种适用于圆排机的抽真空机组，该机组由串联的第一级罗茨真空泵1、第二级罗茨真空泵2及扩散泵组组成，所述的扩散泵组由并联的3个扩散泵3构成，在第一级罗茨真空泵1上设有抽气管5，在每个扩散泵3上设有出气口4。