[实用新型]一种石墨管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备

摘要

本实用新型属于冶金提纯技术领域，特别涉及一种石墨管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备。该设备外壁上安装有通气管路和水冷支撑杆，水冷坩埚安装于水冷支撑杆之上，水冷盘活动密封安装于真空腔室底部，石墨板置于水冷盘顶端，石墨支柱一端通过孔与石墨板嵌套连接，另一端与石墨托盘嵌套连接，坩埚置于石墨托盘之上，石墨发热体套于坩埚外围，碳毡保温桶套于石墨发热体之外，石墨管活动安装于真空腔室顶端，石墨管上端封闭，下端开口。本实用新型的设备是在原有定向凝固设备的基础之上增加通气管道、石墨管和水冷坩埚，设备改造安装方便，操作简单，能有效去除铸锭尾部富集的杂质，另外，石墨管不仅能够对硅液进行加热而且可以多次重复利用，节约了成本。

主权项

一种石墨管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备，由真空腔室（2）构成外壁，外壁上安装有真空管路（16），真空管路（16）一端与真空泵组（15）相连，其特征是：外壁上固定安装有通气管路（13），且活动安装有水冷支撑杆（14），水冷支撑杆内部通冷却水，水冷坩埚（17）安装于水冷支撑杆之上，水冷盘（12）活动密封安装于真空腔室（2）底部，石墨板（11）置于水冷盘顶端，石墨板（11）上开有孔，石墨支柱（10）一端通过孔与石墨板（11）嵌套连接，另一端与石墨托盘（9）嵌套连接，坩埚（7）置于石墨托盘（9）之上，石墨发热体（6）套于坩埚外围且固定于真空腔室（2）侧壁，碳毡保温桶（4）套于石墨发热体（6）之外且固定于真空腔室（2）侧壁，碳毡保温盖（3）上开有孔，置于碳毡保温桶（4）顶端，感应线圈（5）套于碳毡保温桶（4）之外，且固定于真空腔室（2）侧壁之上，石墨管（1）活动安装于真空腔室（2）顶端，且其下端穿过碳毡保温盖（3）置于坩埚正上方中心位置，石墨管上端封闭，下端开口。