[实用新型]低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器有效
| 申请号： | 201220672229.6 | 申请日： | 2012-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN203261565U | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 邵汉良;董元华;钱海波;缪琴 | 申请（专利权）人： | 常州中科常泰等离子体科技有限公司;中国科学院南京土壤研究所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 唐循文 |
| 地址： | 213100 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器，包括等离子体处理装置，所述装置设于真空度可调的腔体内，该装置包括绝缘支架、放电装置、主动辊、从动辊、压辊和传送带，主动辊和从动辊通过轴承分别设于绝缘支架的两端，传送带设于主动辊和从动辊之上，压辊也通过轴承设于绝缘支架一端，将传送带压紧于主动辊上，放电装置设于绝缘支架上，传送带从放电装置的内部穿过。本装置通过对放电装置中的极板结构改进，增加了金属悬浮屏蔽外壳和绝缘填充材料，阻止了极板与腔体内壁之间的放电，并使其产生位移电流，增强了等离子体的活性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 状态 等离子体 辉光 放电 发生器 | ||
【主权项】：
低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器，其特征在于包括等离子体处理装置，所述装置设于真空度可调的腔体内，该装置包括绝缘支架（1）、放电装置（2）、主动辊（3）、从动辊（4）、压辊（5）和传送带（6），主动辊和从动辊通过轴承分别设于绝缘支架的两端，传送带设于主动辊和从动辊之上，压辊通过轴承设于绝缘支架一端，将传送带压紧于主动辊上，放电装置设于绝缘支架上，传送带从放电装置的内部穿过; 所述放电装置（2）包括平行设置的上下两块极板（7），每块极板设有金属悬浮屏蔽外壳（8），极板与金属悬浮屏蔽外壳之间填充有绝缘材料（9），两块极板相对两面的间距为1.5~10cm，传送带从两个极板之间穿过，每个极板上设有极板接头（10），所述极板接头通过射频输出线与射频源连接。
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