[实用新型]低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器

说明书

技术领域

本实用新型属于等离子体发生器领域，具体涉及一种低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器。 

背景技术

近年来，等离子体技术的应用涉及到各个领域，其物理与化学应用已经是一个具有全球影响的重要科学与工程，对高科技经济的发展及传统工业的改造能产生巨大的影响。目前，冷等离子体技术已广泛应用于半导体制造、材料改性、废物处理、聚合物薄膜制备、农业增产等领域。目前国内有关冷等离子体发生器专利基本均为常压下的等离子体发生器，包括射频辉光放电（CN1812686A、CN1859825A、CN101083868A、CN101835339A、CN102573264A、CN2571127Y、CN2604846Y、CN2682772Y）、电容耦合辉光放电（CN1708204A）、接触辉光放电（CN1642383A）、介质阻挡放电（CN1819737A、CN1921250A、CN101415292A、CN101835336A、CN102333411A、CN201004732Y）、电晕放电(CN1452448A、CN102656953A)等。此外，也有真空电弧放电等离子体发生器（CN1934914A），但低真空条件下的辉光放电等离子体发生器专利未见公开，且现有设备多是采用传导电流，造成仪器温度升高，需要增加冷却介质或结构才能控制装置内的温度。现有等离子体处理设备多较简易，无法实现批量连续处理，用在实验室尚可，用于实际生产则凸显出其效率低的不足，在一定程度上制约了等离子体处理设备的产业化。另外，现有放电装置结构局限，产生的等离子体活性粒子的质量不高。2005年我们在世界上首次发现了冷等离子体能与生物大分子产生互作用，使生物大分子产生能量的跃迁，具体表现在作物生理活性大大加强，潜在抗逆基因得到表达，提高了作物的生长活力和抗逆性能。 

实用新型内容

解决的技术问题：为了提升冷等离子体发生器的冷等离子体活性粒子的质量，提高冷等离子体改性处理设备的工作效率，本实用新型提供一种基于容抗放电的冷等离子体辉光放电发生器，将其置于低真空腔体内，通过金属悬浮屏蔽的极板结构，经位移电流产生的冷等离子体对物料连续处理。 

技术方案：低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器，包括等离子体处理装置，所述装置设于真空度可调的腔体内，该装置包括绝缘支架、放电装置、主动辊、从动辊、压辊和传送带，主动辊和从动辊通过轴承分别设于绝缘支架的两端，传送带设于主动辊和从动辊之上，压辊通过轴承设于绝缘支架一端，将传送带压紧于主动辊上，放电装置设于绝缘支架上，传送带从放电装置的内部穿过;所述放电装置包括平行设置的上下两块极板，每块极板设有金属悬浮屏蔽外壳，极板与金属悬浮屏蔽外壳之间填充有绝缘材料，两块极板相对两面的间 距为1.5～10cm，传送带从两个极板之间穿过，每个极板上设有极板接头，所述极板接头通过射频输出线与射频源连接。 

所述极板接头与极板的连接处设有绝缘材料。 

所述射频源为双输出供电装置，所述双输出供电装置包括交流电源和变压器，所述变压器仅原边接地，副边输出端经绝缘保护后与负载连接，所述负载为放电装置。 

所述绝缘材料为聚四氟乙烯、陶瓷或丙烯。 

所述腔体的真空度为90～180pa。 

所述从动辊设置有张紧装置。 

所述腔体、极板、金属悬浮屏蔽外壳为不锈钢材料。 

所述主动辊、从动辊及压辊的轴芯均为不锈钢材料，外敷绝缘橡胶层。 

所述传送带为天然高分子材料，所述天然高分子材料为棉、麻、亚麻或丝类制品。 

所述真空度可调的腔体内为工作气体，所述气体为空气、氩气、氧气、氦气或氮气中的一种或任意几种气体的混合物。