[实用新型]一种基于光学读出的微机电电流传感装置有效
| 申请号： | 201220668752.1 | 申请日： | 2012-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN202939207U | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 张渤;贾澎涛 | 申请（专利权）人： | 西安科技大学 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人： | 彭冬英 |
| 地址： | 710054 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于光学读出的微机电电流传感装置，由下述部分构成：基底上设有悬臂梁，悬臂梁一端固定连接，另一端为自由端，悬臂梁上依次设有输入光波导端和磁感应材料，基底上输入光波导端对应位置设有输出光波导端。本实用新型具有结构简单合理，传感原理通俗易懂、测量精度高，体积小巧优点，线性度好。可以根据被测电流的频率、量程，改变悬臂梁结构尺寸进行匹配。并可通过微机电加工技术大批量生产降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光学 读出 微机 电流 传感 装置 | ||
【主权项】：
一种基于光学读出的微机电电流传感装置，包括基底（1）、悬臂梁（2）、输入光波导端（3）、输出光波导端（6）和磁感应材料（4），其特征在于：基底（1）上设有悬臂梁（2），悬臂梁（2）一端固定连接，另一端为自由端，悬臂梁（2）上依次设有输入光波导端（3）和磁感应材料（4），基底（1）上输入光波导端（3）对应位置设有输出光波导端（6）。
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