[实用新型]纳米压印装置

摘要

本实用新型公开了一种纳米压印装置，包括顶板、气缸、腔体、加热盘和底座，所述气缸的缸体与顶板连接，气缸的活塞杆与腔体连接，所述腔体与底座活动密封形成密闭空间，所述加热盘置于该密闭空间内且通过调平机构固定于底座上，所述腔体上设有充气孔。本实用新型利用压力气体对压印模板施加压力，由于气体均布的特性，因此压印模板的压入平衡、均匀、与表面垂直，并且还设置了调平机构，通过调平机构的调整，保证了压印模板和压印基板的平整性；本实用新型通过上述两项措施克服了现有技术中因压入的不平衡、非均匀、与表面不垂直，或者压印模板、压印基板倾斜等原因造成的产品缺陷，保证了纳米结构的精确复制，保证了压印产品质量稳定。

主权项

一种纳米压印装置，其特征在于：包括顶板（1）、气缸（2）、腔体（3）、加热盘（4）和底座（5），所述气缸（2）的缸体与顶板（1）连接，气缸（2）的活塞杆与腔体（3）连接，所述腔体（3）与底座（5）活动密封形成密闭空间，所述加热盘（4）置于该密闭空间内且通过调平机构（6）固定于底座（5）上，所述腔体（3）上设有充气孔（7）。