[实用新型]纳米压印装置

权利要求书

1.一种纳米压印装置，其特征在于：包括顶板（1）、气缸（2）、腔体（3）、加热盘（4）和底座（5），所述气缸（2）的缸体与顶板（1）连接，气缸（2）的活塞杆与腔体（3）连接，所述腔体（3）与底座（5）活动密封形成密闭空间，所述加热盘（4）置于该密闭空间内且通过调平机构（6）固定于底座（5）上，所述腔体（3）上设有充气孔（7）。

2.根据权利要求1所述的纳米压印装置，其特征在于：所述密闭空间内还设置有膜（8），所述膜（8）的两端固定于腔体（3）与底座（5）的密封接触面处，所述膜（8）将密闭空间分隔为压力腔（9）和真空腔（10），所述加热盘（4）位于真空腔（10）内，所述压力腔（9）与充气孔（7）连通，所述真空腔（10）内设有抽真空气道（11）。

3.根据权利要求2所述的纳米压印装置，其特征在于：所述腔体（3）与底座（5）的密封接触面处设有密封垫（12）。

4.根据权利要求3所述的纳米压印装置，其特征在于：所述腔体（3）上设有溢流孔（13），所述压力腔（9）与溢流孔（13）连通。

5. 根据权利要求1至4任意一项所述的纳米压印装置，其特征在于：所述密闭空间内还设有用于紫外固化的紫外灯（14）。