[实用新型]自动搬送轨道结构及搬送系统

摘要

本实用新型公开了一种自动搬送轨道结构及搬送系统，该轨道结构包括主轨道和一个或多个支路轨道，该支路轨道具有一段支路主轨道及分别与该支路主轨道和主轨道相连接的支路连接轨道。本实用新型通过主轨道与支路轨道的设置，可以实现前方输送车在一处硅片存储设备上方的支路轨道区域取放硅片盒时，后方的输送车能够沿着主轨道继续前行至更前方的硅片存储设备所在支路轨道区域，提高了AMHS系统的搬送效率。

主权项

一种自动搬送轨道结构，其特征在于：其包括主轨道和一个或多个支路轨道，该支路轨道具有一段支路主轨道及分别与该支路主轨道和主轨道相连接的支路连接轨道。