[实用新型]一种划膜机结构

摘要

本实用新型提供了一种划膜机结构，其确保划膜时受力均匀，使得蓝膜贴在晶圆环上后，减少在机台圆盘上没有绷紧的晶粒数量，进而减少晶粒因没绷紧造成晶粒挤压损伤，提高良率。其包括底座、中心转轴，所述中心转轴竖直插装于所述底座的中心，其特征在于：其还包括滑膜刀、滑膜刀横轴，所述中心转轴的上端设置有贯穿的径向孔，所述滑膜刀横轴贯穿所述径向孔后平行于所述底座的平面布置，所述中心转轴的顶部中心开有垂直向的限位螺纹孔，所述限位螺纹孔连通所述径向孔，限位螺杆螺纹连接所述限位螺纹孔、且所述限位螺杆的下端紧压所述滑膜刀横轴，所述滑膜刀垂直于所述底座的平面布置，所述滑膜刀横轴的一端贯穿所述滑膜刀的上端径向定位孔。

主权项

一种划膜机结构，其包括底座、中心转轴，所述中心转轴竖直插装于所述底座的中心，其特征在于：其还包括滑膜刀、滑膜刀横轴，所述中心转轴的上端设置有贯穿的径向孔，所述滑膜刀横轴贯穿所述径向孔后平行于所述底座的平面布置，所述中心转轴的顶部中心开有垂直向的限位螺纹孔，所述限位螺纹孔连通所述径向孔，限位螺杆螺纹连接所述限位螺纹孔、且所述限位螺杆的下端紧压所述滑膜刀横轴，所述滑膜刀垂直于所述底座的平面布置，所述滑膜刀横轴的一端贯穿所述滑膜刀的上端径向定位孔，所述滑膜刀的刀头部分朝向所述底座的平面。