[实用新型]用于监控晶片加工机台的工序进度的装置

摘要

本实用新型提供一种用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，包括：数字输入端口、数字输出端口、继电器模块、报警模块；数字输入端口用于输出控制信号给晶片加工机台；数字输出端口用于采集晶片加工机台的信号；继电器模块与数字输入端口和数字输出端口分别相连，通过输入从晶片加工机台采集到的信号触发控制信号和报警信号，并将控制信号输出给数字输入端口；报警模块与继电器模块相连，用以接收报警信号发出报警。利用本实用新型可以实现对晶片加工机台中的传感器状态进行监测，及时准确地逮到没有响应的软件，通过蜂鸣器及时报警，减少产品在机台中异常停留的时间；还可以对机台内部的电源进行监测，从而获知机台的意外断电跳电。

主权项

一种用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，其特征在于，所述用于监控晶片加工机台的工序进度的装置包括： 数字输入端口，用于输出控制信号给晶片加工机台； 数字输出端口，用于采集晶片加工机台的信号； 继电器模块，与所述数字输入端口和数字输出端口分别相连，通过输入所述从晶片加工机台采集到的信号触发控制信号和报警信号，并将控制信号输出给数字输入端口； 报警模块，与所述继电器模块相连，用以接收所述报警信号发出报警。