[实用新型]一种硅片切割液回收用反应釜有效
| 申请号： | 201220567746.7 | 申请日： | 2012-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN202893331U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 方汉春;朱荣兴 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛硅晶材料有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00;B01D1/16;C10M175/00 |
| 代理公司： | 杭州之江专利事务所(普通合伙) 33216 | 代理人： | 林蜀 |
| 地址： | 324300 浙江省衢*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片切割液回收用反应釜，该反应釜的釜体的底部接有循环管路，循环管路通过循环泵再接入釜体顶部，并与设在釜体顶部进口处的喷淋器相接通。采用本实用新型，反应釜内的液体可以不断的经循环管路进行循环，在循环泵的增压下通过顶部的喷淋器后就以喷雾状进入反应釜中，大大的增大了液体的有效蒸发面积，从而提高脱水效率，降低能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 切割 回收 反应 | ||
【主权项】：
一种硅片切割液回收用反应釜，其特征在于在釜体的底部接有循环管路，循环管路通过循环泵再接入釜体顶部，并与设在釜体顶部进口处的喷淋器相接通。
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