[实用新型]一种抽真空系统装置有效
| 申请号： | 201220559460.4 | 申请日： | 2012-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN202971119U | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 关活明 | 申请（专利权）人： | 台山市华兴光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B41/06 | 分类号： | F04B41/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 529200 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种抽真空系统装置。所述抽真空系统装置包括机械泵1、分子泵2、接口法兰3、法兰后阀4、保护阀5、分子泵前阀6及支管阀7。机械泵1、分子泵2及接口法兰3是由塑钢结构的硬管连接在一起，法兰后阀4、保护阀5、分子泵前阀6及支管阀7分别位于不同位置的硬管上。法兰后阀4起保护烘烤炉真空度作用。保护阀5起保护泵的作用。本实用新型能及时抽走生产磷化铟的器皿及生长材料烘烤过程中释放出来的杂质，使磷化铟生长材料质量得到保证，而且结构简单，易于实现，制作成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 系统 装置 | ||
【主权项】：
一种抽真空系统装置，其特征在于：所述的抽真空系统装置包括机械泵、分子泵、接口法兰、法兰后阀、保护阀、分子泵前阀及支管阀，机械泵、分子泵及接口法兰是由塑钢结构的硬管连接在一起，法兰后阀、保护阀、分子泵前阀及支管阀分别位于不同位置的硬管上。
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