[实用新型]卧式卷绕镀膜系统边框效应克服机构有效
| 申请号： | 201220555246.1 | 申请日： | 2012-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN202881370U | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 曹文钟;马健伟;施微;宋亚瑞 | 申请（专利权）人： | 东北石油大学 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 哈尔滨东方专利事务所 23118 | 代理人： | 曹爱华 |
| 地址： | 163319 黑龙江省*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及的是卧式卷绕镀膜系统边框效应克服机构，这种卧式卷绕镀膜系统边框效应克服机构包括支架、翼板、托辊架，翼板有二个，二个翼板通过小轴活动连接在一起；翼板的两端各设置一支架，可上下相对运动的托辊架固定在支架上，托辊安装在托辊架上；翼板与托辊架之间安装连杆，连杆的上端与翼板活动连接，连杆的下端与托辊架活动连接。本实用新型结构简单，能有效的克服了带材镀膜过程中产生的边框效应，使得卧式磁控溅射镀膜系统的设计简约，容易实现，大大降低了系统的复杂性，从而做到低成本实现卧式磁控溅射镀膜系统。 | ||
| 搜索关键词： | 卧式 卷绕 镀膜 系统 边框 效应 克服 机构 | ||
【主权项】：
一种卧式卷绕镀膜系统边框效应克服机构，其特征在于：这种卧式卷绕镀膜系统边框效应克服机构包括支架（1）、翼板（3）、托辊架（2），翼板（3）有二个，二个翼板（3）通过小轴活动连接在一起；翼板（3）的两端各设置一支架（1），可上下相对运动的托辊架（2）固定在支架（1）上，托辊（4）安装在托辊架（2）上；翼板（3）与托辊架（2）之间安装连杆（5），连杆（5）的上端与翼板（3）活动连接，连杆（5）的下端与托辊架（2）活动连接。
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