[实用新型]用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具有效
| 申请号： | 201220535533.6 | 申请日： | 2012-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN202905663U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 陈五奎;雷晓全;李文江;王斌;王富军 | 申请（专利权）人： | 陕西拓日新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/458;C23C16/24 |
| 代理公司： | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人： | 孟海娟 |
| 地址： | 715200 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜装置，尤其涉及用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具。本实用新型采取如下技术方案：包含一个以上的相邻分布的铝板，所述铝板两面的下方各自有一组高度相同的固定滚轮。所述一组以上的铝板之间距离相同。采用如上技术方案的本实用新型，具有如下有益效果：待镀膜的单面导电玻璃通过固定滚轮滚进去，固定即稳定，保证多组导电玻璃放置的一致性，保证非晶硅薄膜厚度的均一性，同时节省操作时间，提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 非晶硅 薄膜 均匀 镀膜 沉积 夹具 | ||
【主权项】：
用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具，其特征在于，包含一个以上的相邻分布的铝板，所述铝板两面的下方各自有一组高度相同的固定滚轮(8)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陕西拓日新能源科技有限公司，未经陕西拓日新能源科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220535533.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
