[实用新型]用于晶圆表面痕量金属原子数量测定的装置

摘要

本实用新型提供一种用于晶圆表面痕量金属原子数量测定的装置，该装置包括一中空底部及与该中空底部连接的中空上部，所述中空上部与所述中空底部的连接处设有用于承载晶圆的载物台，所述载物台上方设有一用于包裹晶圆边缘并将其卡紧密封的密封圈，所述中空上部还包括一与其配合的密封容器盖。该装置设计简单实用，能确保混酸溶液全面覆盖晶圆表面，并确保反应后的混酸溶液全部被收集，还能在反应时隔离外界空气对混酸的污染，最终大幅度提高测试精度，减少误差。此外，该装置使用时操作简单方便，并可以根据晶圆尺寸的大小制作装置，使其可用于不同尺寸的晶圆表面痕量金属原子数量的测定。

主权项

一种用于晶圆表面痕量金属原子数量测定的装置，其特征在于，其包括一中空底部及与该中空底部连接的中空上部，所述中空上部与所述中空底部的连接处设有用于承载晶圆的载物台，所述载物台上方设有一用于包裹晶圆边缘并将其卡紧密封的密封圈。