[实用新型]靶材背板

摘要

本实用新型公开了一种靶材背板，靶材背板中设有密封槽，在不改变密封槽槽深及槽宽的前提下，对靶材背板上密封槽的其它尺寸作出改进，以使密封槽的容量减小，进而使得密封圈进入密封槽内的部分减少、暴露在密封槽外的部分增多。由于密封圈的暴露在密封槽外的部分增多了，因此，压在密封圈上的陶瓷圈与靶材背板之间的距离增大了，陶瓷圈不容易被电离，因而可以降低溅射过程中靶材背板的靠近陶瓷圈的表面处形成黑色印迹的概率。

主权项

一种靶材背板，其特征在于，所述靶材背板上设有呈燕尾状的密封槽，所述密封槽的开口设置在所述靶材背板的表面上，所述密封槽的开口将所述靶材背板的表面分隔为外侧表面及内侧表面，所述外侧表面高于所述内侧表面，所述密封槽具有底壁及呈相对设置的第一侧壁、第二侧壁，其中，所述第一侧壁的一端与所述外侧表面连接，另一端与所述底壁连接，所述第二侧壁的一端与所述内侧表面连接，另一端与所述底壁连接，所述外侧表面与所述第一侧壁之间的夹角大于70度，且所述外侧表面与所述第一侧壁的连接处设有第一圆角，所述第一圆角的半径为0.45mm±0.13mm，所述内侧表面与所述第二侧壁之间的夹角等于70度，且所述内侧表面与所述第二侧壁的连接处设有第二圆角，所述第二圆角的半径为0.25mm±0.13mm，所述密封槽的槽深为2.54mm±0.05mm，所述密封槽的槽宽为3.38mm±0.08mm。