[实用新型]分体式结构碳/碳坩埚有效
申请号: | 201220504995.1 | 申请日: | 2012-09-29 |
公开(公告)号: | CN202830219U | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 杨少平;胡燕恒 | 申请(专利权)人: | 银川隆基硅材料有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 750021 宁夏回族自*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 一种分体式结构碳/碳坩埚,包括埚碗和埚筒且接触连接,其特征在于:所述埚碗在圆周方向上为多等份,所述埚筒由多层圆环组成,每层圆环分为多段且采用斜面接触连接。本实用新型的埚碗采用多等份,埚筒由多层圆环组成且每层圆环分为多段,当内部的石英坩埚形变时分散了石英坩埚对碳/碳坩埚的应力,提高了其使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 体式 结构 坩埚 | ||
【主权项】:
一种分体式结构碳/碳坩埚,包括埚碗(3)和至少一个埚筒且接触连接,其特征在于:所述埚碗(3)在圆周方向上为多等份,所述埚筒由多层圆环(4)组成,每层圆环(4)分为多段且采用斜面接触连接。
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