[实用新型]分体式结构碳/碳坩埚有效
申请号: | 201220504995.1 | 申请日: | 2012-09-29 |
公开(公告)号: | CN202830219U | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 杨少平;胡燕恒 | 申请(专利权)人: | 银川隆基硅材料有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 750021 宁夏回族自*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 体式 结构 坩埚 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种单晶炉用碳/碳坩埚,具体涉及一种分体式结构碳/碳坩埚。
背景技术
在单晶炉热场中石墨或碳/碳坩埚对石英坩埚起到支撑作用,现有的石墨或碳/碳坩埚由径向的多瓣或轴向的多部分构成。
使用时,将石墨或碳/碳坩埚放置在埚托上,由于石墨或碳/碳坩埚由径向的多瓣或轴向的多部分组成,此类设计在一定程度上缓解了石英坩埚软化时对石墨或碳/碳坩埚壁的压力,并且使石墨或碳/碳坩埚损坏时只需更换部分即可使用,但各瓣或各部分仍要承受石英坩埚形变时所产生的应力,对其寿命造成一定影响。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种分体式结构碳/碳坩埚,以解决现有存在的坩埚对石英坩埚形变所产生的应力无法扩散,从而导致其使用寿命短的问题。
本实用新型的目的是这样实现的,一种分体式结构碳/碳坩埚,包括埚碗和埚筒且接触连接,所述埚碗在圆周方向上为多等份,所述埚筒由多层圆环组成,每层圆环分为多段且采用斜面接触连接。
所述圆环为3-10层,每层圆环分为4~8段,所述斜面与埚筒径向夹角为30°~45°,所述埚碗在圆周方向上分为20~100等高等份。
所述埚碗每两等份之间的缝隙用形状相同的填充块填充,所述埚碗外侧沿径向向内镶嵌有外围固定环。
所述圆环相邻两层之间的接缝处相互错开,并采用销钉固定。
所述埚筒为两个,包括埚筒I和埚筒II且接触连接。
本实用新型具有如下有益效果:本实用新型的埚碗采用多等份,埚筒由多层圆环组成且每层圆环分为多段,当内部的石英坩埚形变时分散了石英坩埚对碳/碳坩埚的应力,提高了其使用寿命。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型埚筒结构示意图;
图3为本实用新型单层圆环拼接示意图;
图4为本实用新型埚碗结构示意图;
图5为本实用新型碳/碳填充块形状示意图;
图6为本实用新型埚碗外镶嵌外围固定环示意图;
图7为本实用新型整体结构示意图;
图中,1.埚筒I,2.埚筒II,3.埚碗,4.圆环,5.外围固定环,6.销钉。
具体实施方式
一种分体式结构碳/碳坩埚,参见图1,包括埚碗3和至少一个埚筒,埚筒与埚碗3接触连接;每一个埚筒在轴向上分为5层~10层圆环4,参见图2;每层圆环4等分为4段,采用斜面接触连接,斜面与埚筒径向夹角a为30°~45°,参见图3。
圆环4相邻两层之间的接缝处相互错开,防止各层之间的接缝处处在同一条直线上,以保证碳/碳坩埚的稳定性,参见图2,且使用16个~23个φ9mm的销钉6固定,参见图3。埚碗3在圆周方向上分为20~100等高等份,参见图4。
每两等份埚碗3之间的缝隙采用形状相同的碳/碳填充块填充,参见图5。
埚碗3外侧距离底部开口80mm~150mm处沿埚碗3径向向内镶嵌宽度为40mm~70mm的外围固定环5,用来使埚碗3的各等份及碳/碳填充块固定,参见图6。
实施例1,一种分体式结构碳/碳坩埚,包括埚碗3、埚筒I1、埚筒II2且接触连接,埚筒I1、埚筒II2均由7层圆弧条拼接而成的 圆环4组成,每层圆环4等分为4段,采用斜面接触连接,斜面与埚筒径向夹角为40°,各层圆环4之间交叉拼接,使用20个φ9mm的销钉6固定,埚碗3在圆周方向上分为72等高等份,每两等份之间的缝隙采用形状相同的碳/碳填充块填充,然后在埚碗3外侧距离底部开口100mm处沿埚碗3径向向内镶嵌宽度为60mm的外围固定环5固定埚碗3。
实施例2,一种分体式结构碳/碳坩埚,包括埚碗3、埚筒I1、埚筒II2且接触连接,埚筒I1、埚筒II2均由10层圆弧条拼接而成的圆环4组成,每层圆环4等分为4段,采用斜面接触连接,斜面与埚筒径向夹角为45°,各层圆环4之间交叉拼接,使用23个φ9mm的销钉6固定,埚碗3在圆周方向上分为100等高等份,每两等份之间的缝隙采用形状相同的碳/碳填充块填充,然后在埚碗3外侧距离底部开口150mm处沿埚碗3径向向内镶嵌宽度为70mm的外围固定环5固定埚碗3。
实施例3,一种分体式结构碳/碳坩埚,包括埚碗3、埚筒I1、埚筒II2且接触连接,埚筒I1、埚筒II2均由5层圆弧条拼接而成的圆环4组成,每层圆环等分为4段,采用斜面接触连接,斜面与埚筒径向夹角为30°,各层圆环4之间交叉拼接,使用16个φ9mm的销钉6固定,埚碗3在圆周方向上分为20等高等份,每两等份之间的缝隙采用形状相同的碳/碳填充块填充,然后在埚碗3外侧距离底部开口80mm处沿埚碗3径向向内镶嵌宽度为40mm的外围固定环5固定埚碗3。
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