[实用新型]一种化学品供应系统用阀箱有效
| 申请号： | 201220461948.3 | 申请日： | 2012-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN202812315U | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 简建至;胡厚福 | 申请（专利权）人： | 冠礼控制科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F16K11/10 | 分类号： | F16K11/10 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 杨军 |
| 地址： | 200131 上海市浦东新区上海市外高*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种化学品供应系统用阀箱，包括箱体（1）和箱体盖（2），所述箱体（1）与箱体盖（2）密封连接，所述箱体（1）内设置有手动阀（3）和气动阀（4），所述手动阀（3）与气动阀（4）通过管道（5）连接，所述箱体（1）上端设有进口（6），所述箱体（1）上端还设有至少两个以上出口（7），所述箱体（1）的进口（6）与出口（7）之间通过管道（5）循环连接，所述手动阀（3）和气动阀（4）设置在管道（5）中，所述箱体（1）侧面设有排气口（8）；本实用新型同现有技术相比，不仅结构简单，设计合理，而且实现了单个阀箱即可提供多个化学品分配出口，从而降低了成本，节约了场地，安装和使用也都非常方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学品 供应 系统 用阀箱 | ||
【主权项】：
一种化学品供应系统用阀箱，包括箱体（1）和箱体盖（2），其特征在于：所述箱体（1）与箱体盖（2）密封连接，所述箱体（1）内设置有手动阀（3）和气动阀（4），所述手动阀（3）与气动阀（4）通过管道（5）连接，所述箱体（1）上端设有进口（6），所述箱体（1）上端还设有至少两个以上出口（7），所述箱体（1）的进口（6）与出口（7）之间通过管道（5）循环连接，所述手动阀（3）和气动阀（4）设置在管道（5）中，所述箱体（1）侧面设有排气口（8）。
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