[实用新型]除静电装置有效
申请号: | 201220437833.0 | 申请日: | 2012-08-30 |
公开(公告)号: | CN202773163U | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 夏国涛;柳锡运;江成军;钟欣;李章国 | 申请(专利权)人: | 深圳南玻显示器件科技有限公司 |
主分类号: | H05F3/04 | 分类号: | H05F3/04 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 邓云鹏 |
地址: | 518000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种除静电装置,包括:腔室,设有进气口和抽气口;抽真空装置,通过抽气阀与所述抽气口密封固定连接;配气装置,通过进气阀与所述进气口密封固定连接,用于向所述腔室内通入用于电离的气体;承载装置,置于所述腔室内,用于承载需进行除静电处理的材料;尖端放电装置,靠近所述承载装置设于所述腔室内,用于对所述气体进行电离。本实用新型可以在真空度较高的环境下消除有机柔性基材在镀膜过程中所带的静电,满足了特殊工艺条件下消除材料静电的需求。 | ||
搜索关键词: | 静电 装置 | ||
【主权项】:
一种除静电装置,其特征在于,包括:腔室,设有进气口和抽气口;抽真空装置,通过抽气阀与所述抽气口密封固定连接;配气装置,通过进气阀与所述进气口密封固定连接,用于向所述腔室内通入用于电离的气体;承载装置,置于所述腔室内,用于承载需进行除静电处理的材料;尖端放电装置,靠近所述承载装置设于所述腔室内,用于对所述气体进行电离。
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