[实用新型]除静电装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种除静电装置。

背景技术

柔性材料镀膜需要将有机柔性材料在高真空环境中，与不锈钢、塑料等材质进行多次的接触和剥离。这样就会产生较多的静电放电现象，严重情况下可达10KV电压，导致透明光学材料表面产生击伤现象而报废。

一种传统的除静电方案是采用除静电棒，但其只适用于在普通的大气环境下消除静电，而在高真空环境中无法起辉产生离子，不能达到消除静电的效果。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种适用于在真空环境下消除材料所带静电的除静电装置。

一种除静电装置，包括：腔室，设有进气口和抽气口；抽真空装置，通过抽气阀与所述抽气口密封固定连接；配气装置，通过进气阀与所述进气口密封固定连接，用于向所述腔室内通入用于电离的气体；承载装置，置于所述腔室内，用于承载需进行除静电处理的材料；尖端放电装置，靠近所述承载装置设于所述腔室内，用于对所述气体进行电离。

在其中一个实施例中，所述承载装置包括用于卷送柔性材料的过料辊组。

在其中一个实施例中，所述尖端放电装置包括用于对自身周围的所述气体进行电离的放电针，所述放电针设于所述承载装置上；所述过料辊组在卷送所述柔性材料的过程中，使得所述柔性材料于靠近所述放电针的位置掠过，且所述柔性材料和放电针的最短间距为5~10毫米。

在其中一个实施例中，还包括连接所述配气装置的气体流量计，用于检测所述配气装置通入腔室内的所述气体的流量。

上述除静电装置，可以在真空度较高的环境下消除材料在处理过程中（例如柔性材料镀膜工艺）所带的静电，满足了特殊工艺条件下消除材料静电的需求。

附图说明

图1是一实施例中除静电装置的结构示意图；

图2是一实施例中承载装置和设于其上的放电针的立体图；

图3是图2另一角度的视图；

图4是由过料辊组卷送的柔性材料与放电针间距的示意图；

图5是一实施例采用除静电装置消除静电的流程图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

图1是一实施例中除静电装置的结构示意图。除静电装置包括腔室10、抽真空装置20、配气装置30、承载装置40以及尖端放电装置。腔室10设有进气口和抽气口，抽真空装置20通过抽气阀（图1未示）与抽气口密封固定连接，能够将腔室10抽成高真空状态。配气装置30通过进气阀（图1未示）与进气口密封固定连接，用于（抽真空后）向腔室10内通入用于电离的工艺气体。承载装置40置于腔室10内，用于承载需进行除静电处理的材料，在一个实施例中为有机柔性基材。尖端放电装置设于腔室10内，用于对工艺气体进行电离，其需要的电力由设于腔室10外的高压电源提供。尖端放电装置靠近承载装置40设置，使得工艺气体被电离后产生的离子能够作用于承载装置40上需进行除静电处理的材料。工艺气体可以采用氩气或其它零族元素气体单质，也可以采用氧气。

请参看图2和图3，承载装置40包括用于卷送柔性材料的过料辊组，过料辊组由多个过料辊41组成。尖端放电装置包括用于对自身周围的工艺气体进行电离的放电针42，放电针42设于承载装置40上。请参看图4，过料辊组在卷送柔性材料的过程中，使得柔性材料连续不断地于靠近放电针42的位置掠过，且最短间距为5~10毫米。因此，需要根据该最短间距，设计好第一过料辊411和第二过料辊412与放电针42间的相对位置，其中第一过料辊411和第二过料辊412具有对靠近放电针42的一段柔性材料进行定位的功能。假设柔性材料的厚度为t，则第一过料辊411和第二过料辊412的公共外切线或公共内切线与放电针42的间距为5+t~10+t毫米。

在其中一个实施例中，除静电装置还包括连接配气装置30的气体流量计，用于检测配气装置30通入腔室内的工艺气体的流量，从而将腔室10内的真空度和工艺气体密度维持在期望的范围内。在其中一个实施例中，开始电离时及电离过程中腔室10内的压强应维持在1.0*10^-3~8.0*10^-3Torr之间，优选为1.0*10^-3Torr。

图5是一实施例采用除静电装置消除静电的流程图，包括下列步骤：

S110，将需进行除静电处理的材料置于腔室内。