[实用新型]利用磁力消除转轴偏摆间隙的寻边器有效
申请号: | 201220377189.2 | 申请日: | 2012-08-01 |
公开(公告)号: | CN202757957U | 公开(公告)日: | 2013-02-27 |
发明(设计)人: | 廖惇材;彭柏翰 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/02 | 分类号: | G01R1/02 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 关畅;王燕秋 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种利用磁力消除转轴偏摆间隙的寻边器,其包含有:一基座,装设有至少一轴承;一转轴,穿设于所述轴承中;一旋转座,与所述转轴固接而能相对所述基座转动;一悬臂,与所述旋转座固接,用于装设一探针;一第一磁性件,设置于所述基座;一第二磁性件,设置于所述旋转座与所述悬臂二者其中之一,所述第一磁性件与所述第二磁性件为磁性相吸或相斥,以提供一作用于所述转轴的力量。在探针点触一待测物的过程中,二磁性件的磁力可消除转轴偏摆的间隙,以避免悬臂产生非预期的摆动而造成探针在待测物上留下过当的针痕,且本实用新型的寻边器具有体积小且不易损坏的优点。 | ||
搜索关键词: | 利用 磁力 消除 转轴 间隙 寻边器 | ||
【主权项】:
一种利用磁力消除转轴偏摆间隙的寻边器,其特征在于包含有:一基座,装设有至少一轴承;一转轴,穿设于所述轴承中;一旋转座,与所述转轴固接而能相对所述基座转动;一悬臂,与所述旋转座固接,用于装设一探针;一第一磁性件,设置于所述基座;一第二磁性件,设置于所述旋转座与所述悬臂二者其中之一,所述第一磁性件与所述第二磁性件为磁性相吸或相斥,以提供一作用于所述转轴的力量。
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