[实用新型]一种硅堆清洗热氮干燥装置有效
| 申请号： | 201220374319.7 | 申请日： | 2012-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN202719838U | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 陈许平;倪绍荣 | 申请（专利权）人： | 南通皋鑫电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B7/00 | 分类号： | F26B7/00 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 滑春生 |
| 地址： | 226500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅堆清洗热氮干燥装置，其创新点在于：包括依次设置的清洗台、丙酮脱水箱和氮气干燥箱，所述氮气干燥箱上设置干燥盖板，其特征在于：所述氮气干燥箱设氮气进、出口，氮气干燥箱内还设置红外线加热灯管，所述红外线加热灯管均匀分布在氮气干燥箱的两侧。硅片在经过清洗后，置于丙酮脱水箱内脱水，再放置到氮气干燥箱内，盖上干燥盖板，通过冷氮气与红外线加热灯管同时进行干燥，冷氮气的流道可降低至每分钟200升左右，降低冷氮气的消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 干燥 装置 | ||
【主权项】：
一种硅堆清洗热氮干燥装置，其特征在于：包括依次设置的清洗台、丙酮脱水箱和氮气干燥箱，所述氮气干燥箱上设置干燥盖板，其特征在于：所述氮气干燥箱设氮气进、出口，氮气干燥箱内还设置红外线加热灯管，所述红外线加热灯管均匀分布在氮气干燥箱的两侧。
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