[实用新型]一种柔性薄膜太阳能电池导电膜沉积设备

摘要

一种柔性薄膜太阳能电池导电膜沉积设备，其特征在于：所述的柔性薄膜太阳能电池导电膜沉积设备包括，12个模块式真空室及8个翻板门阀，3套无油高真空抽气机组及真空测量系统，磁力耦合传动轴、磁悬浮导向基片架循环传送系统，电气控制柜，红外管式加热系统，可控气氛的工艺气体系统，水冷却循环系统和动力气源系统；以薄膜多层膜系的方式在柔性不锈钢基板上镀制导电膜，柔性基板在镀膜时处于绝缘状态。本实用新型的优点：解决了柔性基板的装夹问题，可以实现多种沉积方式，产品膜系丰富，可以大面积镀膜。保证产品膜层的均匀性、一致性、连续性和可控性，可以工业化生产，工件架识别系统运用，工艺质量有可追溯性。

主权项

一种柔性薄膜太阳能电池导电膜沉积设备，其特征在于：所述的柔性薄膜太阳能电池导电膜沉积设备包括，12个模块式真空室及8个翻板门阀，3套无油高真空抽气机组及真空测量系统，磁力耦合传动轴、磁悬浮导向基片架循环传送系统，电气控制柜，红外管式加热系统，可控气氛的工艺气体系统，水冷却循环系统和动力气源系统；1#真空室和12#真空室各配有一套无油抽气系统，在底部抽气，在顶部喷淋式充氮气至大气压；从2#真空室到11#真空室采用侧装分子泵做主泵，集合成一套无油抽气系统，前级是2套无油真空泵机组；每个真空室有磁力耦合传动轴，磁力驱动的传动轴没有真空泄漏问题；以薄膜多层膜系的方式在柔性不锈钢基板上镀制导电膜，柔性基板在镀膜时处于绝缘状态。