[实用新型]PVD镀炉用气体流量控制器有效
| 申请号： | 201220353560.1 | 申请日： | 2012-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN202688429U | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 禹跃斌 | 申请（专利权）人： | 贝尔罗斯（广州）电子部件有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 汤喜友 |
| 地址： | 510560 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PVD镀炉用气体流量控制器，包括气体流量控制机构、混合气管、分流气管和若干进气管；进气管分别与气体流量控制机构的进气口连接，混合气管的进气口与气体流量控制机构的出气口连接，混合气管的排气口与分流气管连接；分流气管置于PVD镀炉炉体内。本实用新型的PVD镀炉用气体流量控制器能使混合气体容易按需要的比例混合，保证混合气体的均匀性，从而达到使产品表面性质稳定，外观色泽均匀的目的，结构简单、易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | pvd 镀炉用 气体 流量 控制器 | ||
【主权项】：
一种PVD镀炉用气体流量控制器，其特征在于：包括气体流量控制机构、混合气管、分流气管和若干进气管；进气管分别与气体流量控制机构的进气口连接，混合气管的进气口与气体流量控制机构的出气口连接，混合气管的排气口与分流气管连接；分流气管置于PVD镀炉炉体内。
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