[实用新型]一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置有效
| 申请号： | 201220342577.7 | 申请日： | 2012-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN202730222U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型主要目的系提供一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置，本实用新型采用的方案是；靶材置于铜背板下方并进行焊接，使靶材背面紧密贴和在铜背板上，确保冷却能顺利进行，不会因空隙产生多馀的热阻，影响冷却效果，铜背板正面设置水路系统，包括一进水口极一出水口，铜背板内部设置5个水道且水道头尾相通，使冷却水能顺利流通，各水道头尾设置有长方形凹槽，能使水流加速，水道隔间条上设置有橡胶密封圈，使水道能照设置的流向前进，不会产生水压及流速的损失，当冷却水由进水口流入后，就顺着水道前进，一直到出水口流出，其中接触铜背板的时间及长度增加了冷却能力，使靶极能充分冷却，达到正常的工作温度，同时也冷却了靶材，使溅射设备保持持续的工作状态，减少维修的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 溅射 设备 冷却 背板 装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置，包括铜背板主体11、进水口12、水道13、长方形凹槽14及出水口15所组成。
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