[实用新型]一种同时吸取双片的真空吸笔

摘要

本实用新型公开了一种同时吸取双片的真空吸笔，包括吸笔头、吸管和手柄，吸管与手柄一体结构，吸笔头呈块状结构，吸笔头的中心设有与吸管相吻合的吸管孔，吸笔头的厚度与存放硅片的石英舟内部间隙相同，在吸笔头的两侧面上分别对称设有结构相同的左吸盘腔和右吸盘腔，吸管孔的底部设有与吸管孔相互连通的左气道和右气道，左气道与左吸盘腔连通，右气道与右吸盘腔连通，本实用新型在不改变原真空吸笔的本体结构，只需更换吸笔头就可以实现双片取片，改装费用较低，取片效率提升一倍，而且吸笔头的端部增加了较长的楔形导向部，在快速作业时可以防止因真空吸笔插偏导致碰碎硅片的情况发生，安全系数较高。

主权项

一种同时吸取双片的真空吸笔，包括吸笔头（1）、吸管（2）和手柄（3），所述吸管与手柄一体结构，所述吸笔头呈块状结构，在吸笔头的一侧面上设有内陷的吸盘腔，吸笔头的中心设有与吸管相吻合的吸管孔（4），吸管孔的底部设有与吸管孔连通的气孔，所述气孔与所述吸盘腔连通，其特征在于：所述吸笔头的厚度与存放硅片（5）的石英舟内部间隙相同，在吸笔头的两侧面上分别对称设有结构相同的左吸盘腔（6）和右吸盘腔（7），所述吸管孔的底部设有与吸管孔相互连通的左气道（8）和右气道（9），所述左气道与所述左吸盘腔连通，所述右气道与所述的右吸盘腔连通。