[实用新型]晶圆清洗刷及晶圆清洗装置有效
| 申请号： | 201220293460.4 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN202621481U | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 董文杰;王怀锋;余文军;黄孝鹏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆清洗刷，包括外表面带有刷毛的刷筒和刷筒轴，所述刷筒套设于所述刷筒轴的外侧，所述刷筒轴的中心部位的直径小于所述刷筒轴的两端的直径。本实用新型还公开了一种晶圆清洗装置，包括如上所述的晶圆清洗刷。本实用新型通过采用中心部位的直径小于所述刷筒轴的两端的直径的刷筒轴来替代现有的各处直径相同的刷筒轴，可以减少刷筒轴在清洗晶圆时的变形程度，从而使得刷筒的各处与晶圆相应处具有相同的挤压力，使得晶圆表面受力均匀，进而使得晶圆表面的清洗效果均匀，从而极大的改善了晶圆清洗刷的清洗效率和清洗效果，避免晶圆周围区域因刷筒轴变形产生颗粒杂质残留。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆清 洗刷 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种晶圆清洗刷，包括外表面带有刷毛的刷筒和刷筒轴，所述刷筒套设于所述刷筒轴的外侧，其特征在于，所述刷筒轴的中心部位的直径小于所述刷筒轴的两端的直径。
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