[实用新型]晶圆清洗刷及晶圆清洗装置有效
| 申请号： | 201220293460.4 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN202621481U | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 董文杰;王怀锋;余文军;黄孝鹏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆清 洗刷 清洗 装置 | ||
1.一种晶圆清洗刷，包括外表面带有刷毛的刷筒和刷筒轴，所述刷筒套设于所述刷筒轴的外侧，其特征在于，所述刷筒轴的中心部位的直径小于所述刷筒轴的两端的直径。
2.根据权利要求1所述的晶圆清洗刷，其特征在于，所述刷筒轴的直径由中心部位向两端逐渐变大。
3.根据权利要求1所述的晶圆清洗刷，其特征在于，所述刷筒轴包括中间轴，所述中间轴的两端分别设有至少一根圆轴，所述中间轴的直径小于所述圆轴的直径。
4.根据权利要求3所述的晶圆清洗刷，其特征在于，所述中间轴的两端分别设有至少两根圆轴，所述至少两根圆轴中越靠近中间轴的圆轴的直径越小。
5.根据权利要求4所述的晶圆清洗刷，其特征在于，所述中间轴的两端分别设有两根圆轴。
6.根据权利要求5所述的晶圆清洗刷，其特征在于，所述中间轴的直径是12毫米，其中，靠近中间轴的圆轴的直径是16毫米，远离中间轴的圆轴的直径是18毫米。
7.根据权利要求4所述的晶圆清洗刷，其特征在于，所述中间轴与圆轴之间以及相邻的圆轴之间可拆卸式连接。
8.根据权利要求1所述的晶圆清洗刷，其特征在于，所述刷筒轴一体成型。
9.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，包括一对晶圆清洗刷，所述晶圆清洗刷分别压在所述晶圆的正反表面并对晶圆进行滚动刷洗，其特征在于，
所述晶圆清洗刷采用如权利要求1~8中任意一项所述的晶圆清洗刷。
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