[实用新型]一种用于真空镀膜设备的观察窗有效
| 申请号： | 201220275532.2 | 申请日： | 2012-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN202744624U | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 陈虹飞;陈军;刘黎明;关永卿;洪婧;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉 | 申请（专利权）人： | 杭州大和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 王兵;黄美娟 |
| 地址： | 310053 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备的观察窗，包括观察窗主体和设在所述观察窗主体上的观察孔，所述观察孔内设有透光玻璃，还包括调光玻璃、保护膜和主动轴，所述观察窗本体上设有安装所述主动轴的孔，所述主动轴穿过所述孔与所述观察窗主体密封连接；所述调光玻璃设置在所述透光玻璃的外侧即所述透光玻璃背离真空镀膜机腔体的一侧，所述保护膜设置在所述透光玻璃的内侧即所述透光玻璃靠近真空镀膜机腔体的一侧。本实用新型中保护膜的调整及透光度的调整随时可以进行，保证了镀膜的顺利进行；采用保护膜可以大大延长观察窗的维护周期，并节约费用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 设备 观察窗 | ||
【主权项】：
一种用于真空镀膜设备的观察窗，包括观察窗主体和设在所述观察窗主体上的观察孔，所述观察孔内设有透光玻璃，其特征在于：还包括调光玻璃、保护膜和主动轴，所述观察窗本体上设有安装所述主动轴的孔，所述主动轴穿过所述孔与所述观察窗主体密封连接；所述调光玻璃设置在所述透光玻璃的外侧即所述透光玻璃背离真空镀膜机腔体的一侧，所述保护膜设置在所述透光玻璃的内侧即所述透光玻璃靠近真空镀膜机腔体的一侧。
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