[实用新型]带真空释放导流机构的真空镀膜机有效
| 申请号： | 201220265608.3 | 申请日： | 2012-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN202643823U | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 吴国庆 | 申请（专利权）人： | 比真光学（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 席虹岩 |
| 地址： | 201401 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种带真空释放导流机构的真空镀膜机，包括：带MV高压阀的真空室以及与真空室相连的管道；所述管道的一端连接一消声过滤器；在所述管道的中间安置一LV阀；还包括：一真空释放导流机构；所述的真空释放机构安置在管道另一端的前端；所述的真空释放导流机构形状为长方形箱体；所述长方形箱体的一边盖子内侧设置至少2个梅花形小孔；本实用新型的有益效果是：使DOM上镜片不易吹落；同时也保证了真空镀膜机在规定时间内达到所需的真空度，保证生产设备的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 释放 导流 机构 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种带真空释放导流机构的真空镀膜机，包括：带MV高压阀的真空室以及与真空室相连的管道；所述管道的一端连接一消声过滤器；在所述管道的中间安置一LV阀；其特征在于还包括：一真空释放导流机构；所述的真空释放机构安置在管道另一端的前端；所述的真空释放导流机构形状为长方形箱体；所述长方形箱体的一边盖子内侧设置至少2个梅花形小孔。
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